技術特點：

l  中空設計，預留了光路通道。

l  全行程（100μm）引入的偏擺和傾斜誤差小于1″（PV）。

l  單層一體式鉸鏈機構實現XY方向同在一個水平面上進行調節。

l  電動機驅動，結合電容傳感器獲得優于0.2μm的定位精度。

l  驅動機構傳動比大于20倍，能得到優于0.1μm的分辨率和0.2μm的最小運動距離。